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气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,可称为第三代激光。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,激---体厂家,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子he2、ar2、xe2等;其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf, krf, xef, krcl, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。一方面氩激光很少见,另一方面为了便于称号,人们常将氩离子激光简称为氩激光。不光中文叙说如此,英文文献亦见此用法,所以在不致混杂的时候,仍可用氩激光称号氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,激---体,防止污染混合气。
目元激光混合气体的佳方案组成比例:co:4%,co2:8%,he:28%,n2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到大的输出功率,并且大切割钢板厚度达到25mm,激---体公司,还可以---的---工件。中性原子激光中,常见的是------激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色---,所以常用作非可见光激光中的指引光束(guiding beam)。其的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110v的电压、价格相对地),使它广用于扫描读码设备及全像等。如果将---he---ne激光作为代气体激光,---激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------krf激光,可称为第三代激光。
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