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电子特种气体的介绍

电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关，与湿电子化学品一样是电子元器件的上游原材料之一。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中，与生产设备配套使用。-是在-规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。

特种气体的介绍

特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易1燃易1爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。

特种气体它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的、集成度、特定技术指标和成品率，并从-上制约着电路和器件的精1确性和准确性。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管led、液晶面板、光纤、ic、半导体分立器件、线路板等行业。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空。

特种气体在进样中的注意事项

样品气的置换，由于特种气都要经过减压器和管线后才能取样，要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换，这种置换不是简单-的吹扫。因为减压器的死体积很大，不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上，每次将减压器里的气体排尽，然后再吹扫系统才能正确取样。进样管线的气密性，进样管线的泄漏，对样品的数据的准确性有很大影响，对低浓度氧气的影响。依照收集-气方式的不同，又能够将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。所以一定要严格检查取样管线的气密性。