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合肥四-碳价格信息「安徽谱纯」







它在-中的寿命约为50,000年,全球增温(全球暖化)系数是6,500(-的系数是1)。虽然结构与氟氯烃相似,但四-碳不会破坏臭氧层。四-碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四-碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。





按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。以活性炭与氟为原料经-反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。四-碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四-碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。





四-碳是可作为氟和自由基-碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四-碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子,它被紫外线辐-中时会分离。碳-氟键比较强,因此分离的可能性比较低。四-碳在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%重量比,然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒-物。






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